歐洲斥資6,380萬美元推動綠色半導體製程

歐洲於6月啟動一項高達6,380萬美元的重大計畫「創世紀」(Generate a Sustainable Industry for Semiconductors，以下簡稱GENESIS)，由法國研究機構CEA-Leti領軍，旨在從根本上改善歐洲半導體產業的環境足跡。該計畫為期三年，集結來自歐洲半導體合作夥伴共計58個成員，涵蓋大型企業、中小企業、研究機構以及大學等單位。

GENESIS計畫針對晶片製造之五個關鍵階段製定全面的發展藍圖，包含材料開發、化學製程、廢棄物監測和處理、氣體排放控制和最終廢棄物處理。該計畫重點之一為使用即時排放追蹤，透過先進的製程監控和感測技術，可協助製造商在生產過程中(而非產品出廠後)即時發現環境衝擊。

而減少廢棄物為另一優先解決項目，計畫目前正研究先進的回收系統，以回收通常會被丟棄的溶劑、氣體和研磨液(Slurries)。同時開發化學替代品，避免使用全氟/多氟烷基物質(PFAS)和降低全球暖化潛勢(Global warming potential, GWP)，以協助改善半導體業一些棘手的流程。

該計畫還致力於解決歐洲在關鍵原材料方面的脆弱性問題，積極開發技術以減少對稀缺原物料的依賴，同時增強供應鏈的韌性。

現今晶片已廣泛應用於人工智慧系統、清潔能源技術等各個領域，半導體製造的環境表現亦受到越來越嚴格的審查。CEA-Leti永續電子專案主任兼專案負責人Laurent Pain表示，計畫後續預計推出約45項創新技術成果，旨在提高整個半導體晶片價值鏈的永續性。
 

關鍵字：GENESIS計畫、 歐洲半導體製程、 綠色晶片